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電子級(jí) (1,3-二氧異吲哚 -2-基)甲基三氟甲磺酸酯

(1,3-dioxoisoindolin-2-yl)methyl trifluoromethanesulfonate

產(chǎn)品編號(hào) CAS No. MDL No. PubChem ID 分子式 分子量 純度 外觀
  • 基礎(chǔ)信息
  • 產(chǎn)品詳情
  • 相關(guān)文獻(xiàn)
英文名稱(chēng) (1,3-dioxoisoindolin-2-yl)methyl trifluoromethanesulfonate
中文名稱(chēng)電子級(jí) (1,3-二氧異吲哚 -2-基)甲基三氟甲磺酸酯
CAS號(hào)0-0-YH84025
產(chǎn)品編號(hào)YH84025
分子式C10H6F3NO5S
分子量308.99

電子級(jí)(1,3-二氧異吲哚 -2-基)甲基三氟甲磺酸酯一種高純度的有機(jī)化學(xué)品,廣泛應(yīng)用于電子制造行業(yè),特別是在半導(dǎo)體光刻膠和微電子領(lǐng)域中。其分子結(jié)構(gòu)中的三氟甲磺酸基團(tuán)具有強(qiáng)酸性,使得該化合物在光刻膠中能夠作為高效的光酸生成劑,促進(jìn)光刻反應(yīng)的進(jìn)行。這種化合物不僅具備優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性,還能在嚴(yán)格的電子級(jí)要求下,確保光刻膠的分辨率、敏感度和穩(wěn)定性,滿(mǎn)足現(xiàn)代半導(dǎo)體制造的需求。

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【基本信息】

中文名稱(chēng):(1,3-二氧異吲哚 -2-基)甲基三氟甲磺酸酯

英文名稱(chēng):(1,3-dioxoisoindolin-2-yl)methyl trifluoromethanesulfonate

分子式:C10H6F3NO5S

分子量:308.99

外觀:白色至微黃色固體

溶解性:易溶于極性有機(jī)溶劑,如二甲基亞硫酰胺(DMSO)、N-甲基吡咯烷酮(NMP)等,溶解度較低于水

熔點(diǎn):約130℃(分解)

分解溫度:>250℃

儲(chǔ)存條件:在干燥、陰涼的環(huán)境下存放,避免陽(yáng)光直射,溫度建議低于30℃

【應(yīng)用領(lǐng)域】

光刻膠材料

作為一種光酸生成劑,(1,3-二氧異吲哚 -2-基)甲基三氟甲磺酸酯能夠在光刻膠中通過(guò)光照引發(fā)強(qiáng)酸的生成,優(yōu)化光刻膠的性能。

(1)適用于先進(jìn)的半導(dǎo)體光刻膠配方,特別是ArF(氟化氬)和EUV(極紫外)光刻技術(shù)。

(2)在高精度光刻過(guò)程中提供優(yōu)異的分辨率和線(xiàn)條銳度,滿(mǎn)足高端芯片制造需求。

半導(dǎo)體制造

該化合物廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造中的曝光工藝,能有效提高光刻膠的曝光反應(yīng)和圖案轉(zhuǎn)移效率。

(1)作為光刻膠的增感劑,改善圖案的清晰度和精度。

(2)提高微結(jié)構(gòu)圖案的對(duì)比度和分辨率,確保小尺寸器件的制造。

功能涂層與其他電子材料

除了在光刻膠中的應(yīng)用外,該化合物也可用于電子封裝和功能涂層材料中,作為催化劑和表面改性劑。

(1)在電子封裝中,提供良好的熱穩(wěn)定性和化學(xué)耐受性。

(2)用于涂層中,增強(qiáng)材料的光學(xué)性能和耐腐蝕性,提升設(shè)備的使用壽命。


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