| 英文名稱 | difluoro-(3-hydroxy-adamantan-1-ylmethoxycarbonyl)methanesulfonic acid-(4-tert-butylphenyl)diphenylsulfonium salt |
|---|---|
| 中文名稱 | 電子級 二氟-(3-羥基-金剛烷-1-基甲氧基羰基)甲磺酸-(4-叔丁基苯基)二苯基锍鹽 |
| CAS號 | 2803313-27-9 |
| 產品編號 | YH68174 |
| 分子式 | C22H23S.C13H17F2O6S |
| 分子量 | 658.82 |
| 英文名稱 | difluoro-(3-hydroxy-adamantan-1-ylmethoxycarbonyl)methanesulfonic acid-(4-tert-butylphenyl)diphenylsulfonium salt |
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| 中文名稱 | 電子級 二氟-(3-羥基-金剛烷-1-基甲氧基羰基)甲磺酸-(4-叔丁基苯基)二苯基锍鹽 |
| CAS號 | 2803313-27-9 |
| 產品編號 | YH68174 |
| 分子式 | C22H23S.C13H17F2O6S |
| 分子量 | 658.82 |
電子級二氟-(3-羥基-金剛烷-1-基甲氧基羰基)甲磺酸-(4-叔丁基苯基)二苯基锍鹽是一種高效光酸生成劑，專為高精度光刻工藝設計。該化合物具有優(yōu)異的光敏性和化學穩(wěn)定性，能夠在深紫外（DUV）和極紫外（EUV）光刻工藝中提供卓越的性能。其獨特的分子結構，結合金剛烷基與锍鹽功能團，確保高效的光反應與材料穩(wěn)定性，適用于先進半導體與微納制造工藝。
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【物理性質】
基本性質
（1）化學名稱：二氟-(3-羥基-金剛烷-1-基甲氧基羰基)甲磺酸-(4-叔丁基苯基)二苯基锍鹽。
（2）分子式：C35H40F2O6S2
（3）分子量：658.82 g/mol
外觀與溶解性
（1）外觀：白色或淺黃色結晶粉末。
（2）溶解性：易溶于常見有機溶劑，如甲醇、乙腈和丙酮，溶解性能優(yōu)異。
熱穩(wěn)定性與純度
（1）熱穩(wěn)定性：在200℃以下保持良好的化學穩(wěn)定性。
（2）純度：≥99.9%，符合電子級化學品要求，適配先進制造工藝。
【應用領域】
光刻膠材料
（1）作為DUV和EUV光刻膠的光酸生成劑，提高光刻分辨率和加工精度。
（2）適用于先進光刻工藝，助力高端芯片制造。
半導體制造
（1）在晶圓加工中提供高效的光敏反應，支持高精度的圖形轉移。
（2）適用于7nm及以下先進制程工藝。
光電子與顯示技術
（1）支持高分辨率顯示器制造的光刻需求，優(yōu)化圖形精度。
（2）應用于光電子器件生產，提升器件性能與可靠性。
