(4-(tert-butyl)phenyl)diphenylsulfoniumbis((perfluoroethyl)sulfonyl)amide

電子級(4-(叔丁基)苯基)二苯基锍雙(全氟乙基磺?；?酰胺是一種專用于微電子和半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的高純化合物。它的锍基結(jié)構(gòu)與全氟乙基磺?；０坊鶊F賦予其優(yōu)異的化學穩(wěn)定性、熱穩(wěn)定性以及電化學性能，是先進光刻膠配方和其他高端工藝的關(guān)鍵材料之一。

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[基本信息]

英文名稱：(4-(tert-butyl)phenyl)diphenyl sulfonium bis((perfluoroethyl)sulfonyl)amide

中文名稱：(4-叔丁基苯基)二苯基锍雙(全氟乙基磺?；?酰胺

分子式：C₂₆H₂₃F₁₀NO₄S₃

分子量：699.06 g/mol

純度：≥99.9%，符合電子級材料要求，雜質(zhì)含量極低。

溶解性：溶于極性有機溶劑如二氯甲烷、乙腈，不溶于水。

熱穩(wěn)定性：可耐受高達300°C的高溫操作。

外觀：白色至淺黃色結(jié)晶粉末。

 [應(yīng)用領(lǐng)域]

光刻工藝
（1）作為光刻膠中的光敏組分，優(yōu)化紫外和深紫外曝光的分辨率。
（2）增強顯影過程的靈敏度和清晰度。

蝕刻工藝
（1）在干法蝕刻中用作精密調(diào)整的輔助試劑，提高加工精度。
（2）適用于復(fù)雜結(jié)構(gòu)的微圖形制造。

顯示和新能源
（1）在顯示器生產(chǎn)中，用于提升器件穩(wěn)定性和顯示性能。
（2）作為特殊添加劑，用于提高光伏電池和儲能設(shè)備的轉(zhuǎn)換效率和壽命。

該產(chǎn)品憑借其獨特的化學特性和高純度優(yōu)勢，成為半導(dǎo)體及微電子領(lǐng)域中關(guān)鍵的功能性材料，有助于推動先進制造技術(shù)的發(fā)展。