Triphenylsulfonium [(1-adamantylmethoxy)carbonyl]difluoromethanesulfonate

電子級三苯基硫鎓 1-金剛烷基甲氧基羰基二氟甲烷磺酸鹽是一種高性能光刻材料，用于先進微電子制造中的光敏劑。其結構結合了硫鎓離子的優(yōu)異光活性和金剛烷基的穩(wěn)定性，具備高效的光解性能和卓越的電子純度。該化合物廣泛應用于深紫外光刻膠（DUV）和極紫外光刻膠（EUV）中，是實現高分辨率和高精度光刻的關鍵材料之一。

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【物理性質】

基本性質

（1）化學名稱：三苯基硫鎓 1-金剛烷基甲氧基羰基二氟甲烷磺酸鹽。

（2）分子式：C₃₁H₃₂F₂O₅S₂

（3）分子量：586.71 g/mol

外觀與溶解性

（1）外觀：白色至淡黃色結晶粉末。

（2）溶解性：易溶于極性有機溶劑，如二甲基亞砜（DMSO）、丙酮、乙腈等。

熱穩(wěn)定性與純度

（1）熱穩(wěn)定性：在高溫下保持化學穩(wěn)定性，分解溫度>200℃。

（2）純度：≥99.9%，符合電子級質量標準。

【應用領域】

光刻膠材料

（1）用于深紫外（DUV）和極紫外（EUV）光刻膠的光敏組分，提升光刻圖形的分辨率和穩(wěn)定性。

（2）在半導體制造中實現精密納米圖形的成像和轉移。

微電子制造

（1）適用于晶圓加工中的光刻環(huán)節(jié)，支持高性能芯片的生產工藝。

（2）優(yōu)化微結構加工，滿足先進制程對圖形清晰度和形貌精度的需求。

顯示器與光電子器件

（1）在顯示器生產中用于制造高分辨率顯示單元的光敏材料。

（2）支持光電子器件的開發(fā)，提升其光電性能和穩(wěn)定性。